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洁净室的净化空调是***能耗大户，因此在选择和确定洁净室的洁净度和温、湿度时要慎之又慎。即在满足生产工艺要求的前提下，不应过高过严要求。否则，其能耗会大幅度上升。有***分析计算洁净室内温度放宽1℃时其能耗可节省3%左右；其相对湿度放宽5%时其能耗又可节省3%左右。另外负荷计算时安全裕量不应留有过大，否则设备的耗电会大大增加，为了今后的发展留有动力设备的空位。

由此可知，洁净室技术是由土建、工艺、空调净化、设备等方便共同配合才能达到要求的。防止微粒堆积，应注意：

（1）室内建筑内表面不应由凸出物和勾缝，以免堆积尘埃。

（2）设备、管路、家具等应易于清扫。

（3）设置真空清扫系统或真空扫除机，定期清扫。

3、尽量防止微粒的发生这可由一下途径来打到:

（1）易发沉的建筑材料。家具、用具不能使用。

（2）人员的个人卫生、洁净服、操作（动作）均遵循洁净规程，以减少发尘。

（3）提高工艺过程的机械化、自动化程度，这对别洁净室尤为重要。

4、把室内发生的尘粒有效、迅速地排除，其方法如下：

（1）利用经超净（过滤）的空调空气排除室内发尘，可以采用“稀释冲淡”或“活塞置换”的手段来排除室内的发尘。

（2）必须比常规空调有足够的风量和合理的气流***来实现尘粒的排除。气流***要考虑到室内工艺设备和发尘点的位置等实际情况；

洁净室的空调负荷特点：

服务于微电子和光电子的高别洁净室因工艺排风量大，所以新风量也很大，新风量一般在10~20次/h换气；因此，处理如此多新风的负荷大约为400~800 W/m2；个别工艺的排风量更大，固新风负荷也还会更大。因此新风负荷大是其第二个负荷特点。

生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大，是高别洁净室的第三个负荷特点。生产负荷的大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、通风以及水冷却的情况有关。